InFocus κ - 創(chuàng)新的熱物理顯微鏡

配備了能夠精確掃描衍射極限激光點的檢流計掃描儀，我們的激光掃描FDTR顯微鏡實現(xiàn)了突破性的三維納米級熱分析。

亮點

衍射限制的激光光斑允許評估小顆粒的熱特性。

各向異性熱導(dǎo)率的評估以及熱性能顯微鏡檢測也可實現(xiàn)。

利用冷卻/加熱臺（選配）可以評估熱導(dǎo)率隨溫度的變化。

概覽

InFocus κ FDTR利用熱反射現(xiàn)象（即物體表面光的反射率隨溫度變化而改變），通過頻域熱反射（FDTR）顯微鏡來測量薄膜和微結(jié)構(gòu)的熱導(dǎo)率等熱性能，并觀察其分布情況。

InFocus κ FDTR的關(guān)鍵特性在于它能夠?qū)⒓す馐獍叱叽缈s小至接近衍射極限，并通過激光掃描光學(xué)系統(tǒng)自由控制其照射位置。通過在柱坐標(biāo)中運用三維熱擴散模型進行定量分析，它能夠?qū)Ω飨虍愋詿釋?dǎo)率進行評估。較小的激光光斑還可用于評估單個小顆粒（如散熱填料）的熱性能。

此外，還可將高分辨率拉曼光譜作為選件添加。拉曼光譜能夠提供有關(guān)樣品分子結(jié)構(gòu)、結(jié)晶度和殘余應(yīng)力的額外信息，便于在一臺儀器上進行多方面的材料分析。

使用泵浦連續(xù)波激光器以高達 50 MHz 的頻率周期性地加熱樣品表面，并使用鎖相放大器檢測溫度響應(yīng)的相位延遲。

基于微 FDTR 的各向異性導(dǎo)熱系數(shù)評估

InFocus κ FDTR 能夠?qū)⒓す馐o密聚焦到接近衍射極限。使用 20 倍（數(shù)值孔徑 = 0.45）的物鏡，泵浦光束的 1/e2 光束直徑為 2.14 微米，探測光束為 1.19 微米，使用 50 倍或 100 倍物鏡，光斑尺寸可以縮小到亞微米。

在 Micro FDTR 的測量中，許多樣品在三維空間中會出現(xiàn)熱擴散現(xiàn)象。因此，使用圓柱坐標(biāo)的三維熱擴散模型用于擬合分析。如果樣品具有各向異性熱導(dǎo)率，通過將其作為擬合參數(shù)，可以同時測量垂直平面和平面內(nèi)熱導(dǎo)率。

它還具有計算每個擬合參數(shù)測量靈敏度的功能，通過事先確認(rèn)是否存在靈敏度，可以進行可靠的測量。

多功能掃描系統(tǒng)實現(xiàn)的多種測量模式

亞微米光束直徑的好處之一是能夠測量單個小顆粒的熱導(dǎo)率。即使是微米級的散熱填料，也可以通過將激光仔細聚焦在顆粒的中心來進行測量。

除了使用電動平臺進行掃描外，InFocus κ FDTR 還配備了使用振鏡（僅探測光）的激光束掃描系統(tǒng)。通過在適當(dāng)?shù)膾呙韫鈱W(xué)系統(tǒng)中組合掃描透鏡和筒鏡，無論光束照射位置在哪里，光始終垂直于測量平面照射。

在光束偏移 FDTR 測量中，通過在探測光的照射位置相對于泵浦光偏移的同時進行測量，可以靈敏地測量面內(nèi)熱導(dǎo)率。此外，使用平臺掃描的 FDTR 映射測量能夠使各種熱特性的分布可視化。

利用激光束掃描技術(shù)精確控制激光光斑

使用激光掃描光學(xué)系統(tǒng)，這是ScienceEdge的專有能力，只需在軟件的顯微鏡圖像上任意點擊，就可以立即改變探測光束的位置。照射到樣品表面的入射光保持垂直，因此無需擔(dān)心斑點形狀失真。

規(guī)格

*產(chǎn)品規(guī)格如有變更，恕不另行通知。請事先知曉這一點，并每次都核實詳情。

*所示產(chǎn)品外觀為概念模型，可能與實際產(chǎn)品外觀有所不同。

產(chǎn)品圖片

應(yīng)用

自旋鏈 - 自旋梯式銅酸鹽中各向異性熱導(dǎo)率的評估

自旋鏈 - 自旋梯式銅酸鹽，顧名思義，具有特殊的層狀結(jié)構(gòu)，其中離子呈梯狀排列。沿梯級腿（c 軸方向），由于磁振子的作用，已知其表現(xiàn)出高的熱導(dǎo)率，而在 ab 平面內(nèi)，由于聲子的作用，其熱導(dǎo)率較低。

在此，我們使用 InFocus κ FDTR 評估了單晶 La5Ca9Cu24O41（LCCO）的熱導(dǎo)率各向異性，它在自旋鏈 - 自旋梯式銅酸鹽中在室溫下表現(xiàn)出最高的熱導(dǎo)率。

通過射頻濺射在經(jīng)過樹脂包埋且 ab 表面暴露并拋光的單晶 LCCO 表面沉積約 120 納米厚的 Cr/Au。在泵浦激光的調(diào)制頻率從 200 千赫變化到 10 兆赫的同時，我們測量了熱反射信號的相位延遲，并使用圓柱坐標(biāo)中的三層模型（換能器/界面/LCCO）進行了擬合分析。

擬合分析的結(jié)果表明，垂直平面方向（c 軸方向）的熱導(dǎo)率為 45.3 W/mK，平面內(nèi)方向（ab 平面方向）為 5.1 W/mK。這種垂直平面的熱導(dǎo)率與先前研究中報告的值一致*。此外，已知在 LCCO 中，源自聲子的平面內(nèi)熱導(dǎo)率約為源自磁振子的垂直平面熱導(dǎo)率的十分之一。該測量還表明，平面內(nèi)熱導(dǎo)率約為垂直平面方向的十分之一，與常規(guī)理解一致。

（致謝）：我們衷心感謝東京電機大學(xué)的 Takayuki Kawamata 教授提供單晶 LCCO，以及東北大學(xué)的 Nobuaki Terakado 教授對本次測量和數(shù)據(jù)分析提供的寶貴建議。

LCCO 的晶胞結(jié)構(gòu)。梯面沿 c 軸方向排列。

擬合分析結(jié)果（綠色為擬合參數(shù)）

測量單晶化學(xué)氣相沉積金剛石的熱導(dǎo)率

熱導(dǎo)率較高的材料，如金剛石，給熱導(dǎo)率的定量評估帶來了挑戰(zhàn)。困難源于充分加熱樣品的難度以及包括溫度弛豫和相位滯后在內(nèi)的極小溫度響應(yīng)，使得測量變得困難。

通過與京都大學(xué)的 Hirotani 副教授和 Yuki Akura 先生的合作研究*，ScienceEdge 開發(fā)了一種能夠高靈敏度測量甚至微小相位延遲的光學(xué)系統(tǒng)。這一進展使得測量熱導(dǎo)率超過 2000 W/mK 的材料成為可能。

右側(cè)的圖表顯示了使用 InFocus κ FDTR 測量的高純度單晶化學(xué)氣相沉積（CVD）金剛石基底的相位數(shù)據(jù)。通過用諸如換能器（Au/Cr）和金剛石之間的界面熱導(dǎo)以及金剛石的熱導(dǎo)率等參數(shù)進行擬合，確定金剛石的熱導(dǎo)率約為 2334 W/mK（見右下角表格）。

*請注意，這項研究的一部分是在 NEDO（新能源和工業(yè)技術(shù)開發(fā)組織）的支持下進行的，作為政府和私營部門合作的一個項目的一部分，用于發(fā)現(xiàn)和支持在創(chuàng)業(yè)方面有挑戰(zhàn)的年輕研究人員。

用 InFocus κ FDTR 測量的單晶化學(xué)氣相沉積金剛石的相位數(shù)據(jù)

擬合分析結(jié)果（綠色為擬合參數(shù)）